|
![](https://ae01.alicdn.com/kf/Hca9a305d19614f138b228a44562418a32/4-SIO2.jpg) aHR0cDovL2ZyZWVzaGlwLmNvLmty![](https://ae01.alicdn.com/kf/Hca9a305d19614f138b228a44562418a32/4-SIO2.jpg) ![](https://ae01.alicdn.com/kf/Hb5a9de770cb64a05832d855197103a99R/4-SIO2.jpg)
Modname = ckeditor
¸µÅ© °¡°Ý:4 ÀÎÄ¡ ½Ç¸®ÄÜ »êȹ° ¿þÀÌÆÛ, ´ÜÀÏ ÁÖÁ¶ dyoxy 300nm
´ÜÀÏ ¹× ÀÌÁß »êÈ ¸Å°³ º¯¼ö ¸ñ·Ï
|
ÀÏ·Ã ¹øÈ£
|
À̸§
|
»êÈ ¹üÀ§
|
»êÈ Ãþ Çö¹° Àç°í (¾ðÁ¦µçÁö º¯°æ)
|
´Ù¸¥ µÎ²²
|
ºñ°í
|
1,
|
¿ïÆ®¶ó ¾ãÀº »êÈ
|
5-20nm
|
5nm
|
10nm
|
20nm
|
¸ÂÃãÇü
|
»êÈ ½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛÀÇ ´Ù¾çÇÑ °í±Þ Ư¼ö ¸Å°³ º¯¼ö, ¼Ò¼ö¸¦ »ç¿ëÀÚ Á¤ÀÇ ÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
|
2,
|
ÃʹÚÇü »êÈ
|
20-50nm
|
20nm
|
30nm
|
40nm
|
¸ÂÃãÇü
|
3,
|
¾ãÀº »êÈ
|
50-100nm
|
50nm
|
65nm
|
80nm
|
¸ÂÃãÇü
|
4,
|
ÀÏ¹Ý »êÈ
|
100-1000nm
|
100nm
|
200nm
|
285nm
|
¸ÂÃãÇü
|
300nm
|
330nm
|
450nm
|
500nm
|
550nm
|
800nm
|
5,
|
µÎ²¨¿î »êȹ°
|
1000-2000nm
|
1000nm
|
1350nm
|
2000nm
|
¸ÂÃãÇü
|
6,
|
¿ïÆ®¶ó µÎ²¨¿î »êÈ
|
2000-5000nm
|
3000nm
|
4000nm
|
5000nm
|
¸ÂÃãÇü
|
|
Á¦Ç° ¸ð¼ö
|
Á¦Ç° Å©±â
|
ÇÁ¶óÀÓ Å¬·¡½º 4 ÀÎÄ¡ »êÈ ½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛ
|
¼ºÀå ¸ðµå
|
CZ ½Ì±Û Å©¸®½ºÅ», Á¸ ¸áÆà ½Ì±Û Å©¸®½ºÅ» (CZ/FZ)
|
Á÷°æ °øÂ÷ mm
|
100.2 ¡¾ 0.3mm
|
¸ðµ¨/µµÇÎ À¯Çü
|
N/P ÀÎ, ºñ¼Ò ¹× ºØ¼Ò´Â °í°´ ¿ä±¸ »çÇ׿¡ µû¶ó ¹è¼Û ¶Ç´Â »ç¿ëÀÚ Á¤ÀÇ °¡´É
|
Å©¸®½ºÅ» ¹æÇâ
|
<111> \\< 100> \\< 110> ¹ß¼ÛµÉ ¶Ç´Â ¸ÂÃãÇü °í°´ ¿ä±¸¿¡ µû¶ó
|
ºñÀúÇ×
|
0.001-20000 (Ω · cm) °í°´ ¿ä±¸ »çÇ׿¡ µû¶ó ¹è¼Û ¶Ç´Â »ç¿ëÀÚ Á¤ÀÇ °¡´É
|
Æòźµµ Àú¾î
|
<3¥Ìm
|
Àκ¸À̽º
|
±â°è ¼ÛÀå Á¦°ø °¡´É
|
ÈÚ TTV
|
<10μm
|
°î¼± È°
|
<10μm
|
°ÅÄ¥±â Ra
|
<0.5nm
|
Graininess pewaferr
|
<10 (forsize> 0.3¢ªm)
|
Æ÷Àå ¹æ¹ý
|
1 °³ Æ÷Àå, 5 °³ Æ÷Àå, 10 °³ Æ÷Àå, 25 °³ ĸ½¶È, ½´ÆÛ Å¬¸° ¹× ¸ÕÁö ¾ø´Â ¾Ë·ç¹Ì´½ È£ÀÏ Áø°ø ÆÐÅ°Áö;
|
±âÁ¸ Àç°í µÎ²²´Â ¢ªm ÀÔ´Ï´Ù.
|
»êȹ° µÎ²²: 10-5000nm Àç°í ÀÖÀ½; µÎ²²: ÀÌÁß ´øÁö±â 200-2000¢ªm, ½Ç¸®ÄÜ ´Ù¾çÇÑ µÎ²² »çÀÌ ´ÜÀÏ ´øÁö±â 150-5000¢ªm Á¦°ø °¡´É;
|
¸ñÀû
|
Synchrotron ¹æ»ç¼± »ùÇà ij¸®¾î, PVD/CVD ÄÚÆà ±âÆÇ, ¸¶±×³×Æ®·Ð ½ºÆÛÅ͸µ, XRD, SEM, »ùÇà ¿øÀÚ·Â ¼ºÀå, Àû¿Ü¼± ºÐ±¤±â, Çü±¤ ºÐ±¤±â ºÐ¼® Å×½ºÆ® ±âÆÇ, ±âÆÇ, Å©¸®½ºÅ» ¹ÝµµÃ¼ ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ, ¹ÝµµÃ¼ ÀåÄ¡ ó¸® µîÀÇ X ¼± ºÐ¼®ÀÇ ºÐÀÚ ºö »óÀå ¼ºÀå!
|
|
|
|
|
|
|
Á÷°æ 4 ÀÎÄ¡ (100mm) ´Ü°áÁ¤ ½Ç¸®ÄÜ »êȸ·
ÀÌ»êȽǸ®ÄÜ ÃþÀº ¿ »êȹ° ¶Ç´Â º£¾î ½Ç¸®ÄÜÀÇ Ç¥¸é¿¡ Çü¼ºµË´Ï´Ù. ¸éÀü¿¡¼ »êÈÁ¦ ³ôÀº¿Âµµ¿¡, °úÁ¤ ÂüÁ¶µÇ°í ¿ »êÈ. ¿»êȹ° ÃþÀº ÀϹÝÀûÀ¸·Î ¼öÆò °ü·Î¿¡¼ Àç¹èµË´Ï´Ù. ¿Âµµ ¹üÀ§´Â ½À½Ä ¶Ç´Â °Ç½Ä ¼ºÀå ¹æ¹ýÀ» »ç¿ëÇÏ¿© ¼·¾¾ 900 ~ 1200 µµ¿¡¼ Á¦¾îµË´Ï´Ù. ¿ »êȹ°Àº ¼ºÀåÇÑ »êȹ°ÀÇ ÃþÀÔ´Ï´Ù. ±×°ÍÀº CVD ¹æ¹ý¿¡ ÀÇÇØ ÁõÂø µÈ »êȹ° Ãþº¸´Ù ±ÕÀϼº°ú À¯Àü °µµ°¡ ³ô½À´Ï´Ù. ÀÌ°ÍÀº Àý¿¬Ã¼·Î¼ ÁÁÀº À¯Àüü ÃþÀÔ´Ï´Ù. ´ëºÎºÐÀÇ ½Ç¸®ÄÜ ±â¹Ý ÀåÄ¡¿¡¼ ¿ »êȹ° ÃþÀº ½Ç¸®ÄÜ Ç¥¸éÀ» Æí¾ÈÇÏ°ÔÇÏ´Â µ¥ ¸Å¿ì Áß¿äÇÑ ¿ªÇÒÀ»ÇÕ´Ï´Ù. µµÇÎ À庮 ¹× Ç¥¸é À¯Àüü.
½Åû ¹üÀ§:
1, ¿¡Äª ¼Óµµ °áÁ¤
2, ±Ý¼Ó ¿ÍÀ̾î Å×½ºÆ®
3, ±Ý¼Ó ¿þÀÌÆÛ
4, Àü±â Àý¿¬
»êÈ °øÁ¤: ¿ »êÈ-½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛ¸¦ °í¿Â¿¡ ¹èÄ¡ÇÏ°í »êÈ ºÐÀ§±â¸¦ À¯ÁöÇÏ´Â ¹æ¹ýÀº ½Ç¸®ÄÜ Ç¥¸éÀÇ ¾ãÀº ½Ç¸®ÄÜ ÃþÀ» ÀÌ»êȽǸ®ÄÜÀ¸·Î º¯È¯ÇÏ´Â µ¥ »ç¿ëµË´Ï´Ù.
ÀϹÝÀûÀÎ ¿ »êÈ °øÁ¤ ¹üÁÖ ¹× Ư¼º:
1. °Ç½Ä »ê¼Ò »êÈ: °Ç½Ä »ê¼Ò »êÈ-»êÈ ºÐÀ§±â´Â °ÇÁ¶ÇÏ°í ¼ø¼öÇÑ »ê¼ÒÀÔ´Ï´Ù. »êȹ° Çʸ§ Á¶¹Ð, ÇÉȦ Á¶¹Ðµµ´Â ÀûÇÕ ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ, Ç°Áú ÁÁÀº, ±×·¯³ª »êÈ ¼Óµµ°¡ ´À¸° ºñ¿ëÀÌ.
2, ¼öÁõ±â »êÈ: ¼öÁõ±â »êÈ ¹æ¹ý-»êÈ ´ë±â´Â ¼ø¼öÇÑ ¼öÁõ±âÀÔ´Ï´Ù. »êÈÀ²Àº ºü¸£Áö¸¸ »êȸ·Àº ´À½¼ÇÏ°í, ÇÉȦ ¹Ðµµ°¡ Å©°í, Ç°ÁúÀÌ ÁÁÁö ¾ÊÀ¸¸ç, ±¤¸®¼Ò±×·¡ÇÇ°¡ ½±°Ô ¶ßÁö ¾Ê½À´Ï´Ù.
3. Á¥Àº »ê¼Ò »êÈ: Á¥Àº »ê¼Ò »êÈ-»êÈ ºÐÀ§±â ¼ø¼öÇÑ »ê¼Ò + ¼ø¼ö ¼ö¼Ò. »êȸ· Ç°Áú°ú »êÈÀ² ¸ðµÎ °Ç½Ä »ê¼Ò »êÈ¿Í ¼öÁõ±â »êÈ »çÀÌÀ̸ç Ç°Áúµµ µÎ °¡Áö »çÀÌÀÔ´Ï´Ù.
¼¼ Á¾·ùÀÇ ¿ »êÈ ¹æ¹ý Ç°Áú »êȹ° ·¹ÀÌ¾î µå¶óÀÌ »ê¼Ò »êÈ ´õ; ½Ç¸®ÄÜ »êȹ° ÃþÀº »êÈ ¼ø¼ö µå¶óÀÌ »ê¼Ò ÀÌÇÏ 500 nm, »êȹ° ÃþÀÇ Ç°ÁúÀÌ ¿ì¼öÇÏ°í Àý¿¬¼ºÀÌ ¸Å¿ì ÁÁ½À´Ï´Ù. ±×¸®°í ¿ì¸® ȸ»çÀÇ µ¶Æ¯ÇÑ Æ¯Çã »êÈ °øÁ¤ ±â¼úÀ» äÅÃÇß½À´Ï´Ù., »êȹ° ÃþÀº °áÇÔ°ú ÀüÇÏ°¡ Àû°í Æòźµµ°¡ ³ô½À´Ï´Ù.
|
|
|
|
|