´ëÇü ¿î¹Ý ³×Æ®¿öÅ© Á¶¸®°³, ÁÖ·Î »ý¹°ÇÐÀû »ùÇà Áغñ¿¡ »ç¿ëµÇ´Â temÀÇ »ùÇÃÀ» ¿î¹ÝÇÏ´Â µ¥ »ç¿ëµÇ´Â ¿ÀÇ Çʵå, ½½¶óÀ̼¿Í Çù·Â ÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù, ½ÌÅ© "¸Ç ¼ÕÀ¸·Î ±×¹°" ¹°°í±â »ùÇÃ. ij¸®¾î ³×Æ®¿öÅ©ÀÇ Àç·á´Â ±¸¸®, ´ÏÄÌ, ¸ô¸®ºêµ§, ƼŸ´½, ±ÝÀÔ´Ï´Ù. µÎ Á¾·ù°¡ ÀÖ½À´Ï´Ù: ±¹³» ¹× ¼öÀÔ.
100Mei/º´, Áß°£ °Å¿ï ÀåºñÀÇ »ý»ê, ±¸¸® ij¸®¾î ³×Æ®¿öÅ©´Â ³Î¸® »ç¿ëµÇ´Â ij¸®¾î ³×Æ®¿öÅ©, Àú·ÅÇÑ °¡°Ý ¹× ºñÀÚ ¼º.
AZ50
Àç·á °úÇÐ
¼ÒÀç
|
¸Þ½¬ ¹øÈ£
¸Þ½¬ Å©±â
|
¼¾ÅÍ distanceμm
ÇÇÄ¡
|
¸®ºê widthμm
¹Ù ³Êºñ
|
Apertureμm
±¸¸Û Å©±â
|
Æ÷Àå
À¯´Ö
|
¿ø»êÁö
¸¸µç
|
±¸¸®
|
50
|
530
|
80
|
450
|
100Mei/º´
|
Áß±¹
|
AZ75
Àç·á °úÇÐ
¼ÒÀç
|
¸Þ½¬ ¹øÈ£
¸Þ½¬ Å©±â
|
¼¾ÅÍ distanceμm
ÇÇÄ¡
|
¸®ºê widthμm
¹Ù ³Êºñ
|
Apertureμm
±¸¸Û Å©±â
|
Æ÷Àå
À¯´Ö
|
¿ø»êÁö
¸¸µç
|
±¸¸®
|
75
|
350
|
50
|
300
|
100Mei/º´
|
Áß±¹
|
AZ100
Àç·á °úÇÐ
¼ÒÀç
|
¸Þ½¬ ¹øÈ£
¸Þ½¬ Å©±â
|
¼¾ÅÍ distanceμm
ÇÇÄ¡
|
¸®ºê widthμm
¹Ù ³Êºñ
|
Apertureμm
±¸¸Û Å©±â
|
Æ÷Àå
À¯´Ö
|
¿ø»êÁö
¸¸µç
|
±¸¸®
|
100
|
260
|
30
|
230
|
100Mei/º´
|
Áß±¹
|
AZ150
Àç·á °úÇÐ
¼ÒÀç
|
¸Þ½¬ ¹øÈ£
¸Þ½¬ Å©±â
|
¼¾ÅÍ distanceμm
ÇÇÄ¡
|
¸®ºê widthμm
¹Ù ³Êºñ
|
Apertureμm
±¸¸Û Å©±â
|
Æ÷Àå
À¯´Ö
|
¿ø»êÁö
¸¸µç
|
±¸¸®
|
150
|
180
|
40
|
140
|
100Mei/º´
|
Áß±¹
|
¸Åü °Å¿ï instrumentTMThe ¿î¹Ý´ë ½Ã¸®Áî´Â Àü¼Û ÀüÀÚ Çö¹Ì°æ (TEM) µ¶¸³ÀûÀÎ µðÀÚÀÎ ¹× ¿Â¶óÀÎ “Z¡± ¸¦ ³ª¸£´Â »ý»êÀ» À§ÇØ µðÀÚÀε˴ϴ٠´Ü¾î´Â ȸ»çÀÇ »ó¡ÀÔ´Ï´Ù, ¶ÇÇÑ ±àÁ¤ÀûÀÌ°í ºÎÁ¤ÀûÀÎ ÆÇ´ÜÀ» ±â¹ÝÀ¸·Î »ç¿ëÀÚ¸¦ Á¦°øÇÕ´Ï´Ù. ¡£ µ¿½Ã¿¡ ±×°ÍÀº ¶ÇÇÑ ´Ù¸¥ °úÇÐÀûÀÎ ¿¬±¸ ºÐ¾ß¸¦ Ưº°ÇÑ ¿î¹Ý´ë ³×Æ®¿öÅ©¸¦ Á¦°øÇÕ´Ï´Ù. ¡£ Áß°£ °Å¿ï instrumentTMThe ÀÏ·ÃÀÇ networksTEMGood º¸±â ¹× Å©±â ºÐ¾ßÀÇ Á¶ÇÕÀÇ ¹æÀ§ ¼ö¿ë·®, Áü ³×Æ®¿öÅ©°¡ ¼Õ»óµÇ±â ½±Áö ¾Ê´Ù´Â °ÍÀ» »Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó º¸ÁõÇÕ´Ï´Ù, ¶ÇÇÑ °¡Àå Å« °¡´ÉÇÑ ºñÀüÀ» Á¦°øÇÕ´Ï´Ù. ¡£ ij¸®¾î ³×Æ®¿öÅ©ÀÇ Áß°£ ¹Ì·¯ instrumentTMThe ½Ã¸®Áî´Â µÉ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù »ç°¢Çü ±¸¸Û, ¿øÇü ±¸¸Û, Á¶¸®°³, ½½¸´, º´·Ä, µàÇ÷º½º, ±âŸ Ư¼ö ³×Æ®¿öÅ© µîÀ¸·Î ³ª´©¾î Àç·á ¿ä±¸ »çÇ×, »ý¹°ÇÐ ¹× ¸¹Àº ÇÐÁ¦ Àû °ú¸ñÀÇ °úÇÐ ¿¬±¸ ¿ä±¸¸¦ ÃæÁ·½Ãų ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. »ç¿ëÀÚ¿¡°Ô ´õ Æí¸®Çϱâ À§ÇÏ¿©´Â, ¾Ë·ç¹Ì´½Àº ´ç½ÅÀÇ ÇÊ¿äÁ¶°Ç¿¡ µû¶ó ÁÖ¹®À» ¹Þ¾Æ¼ ¸¸µé¾î Áú ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù (Al)¡¢ ÅÖ½ºÅÙ (W)¡¢ ½ºÅ×Àθ®½º ¹× ´Ù¸¥ ¹°ÀÚ·Î ¸¸µå´Â Ưº°ÇÑ Áü ±×¹°. ¿ì¸®´Â ¶ÇÇÑ ¹Ì±¹ ¡¢ ºê¸®Æ°, ÀϺ»¾î¿Í ´Ù¸¥ ¼öÀÔÀÇ Áü ±×¹°À» À§ÇØ ÇൿÇÕ´Ï´Ù ºê·£µå ¡£
´Ù¸¥ ¹°ÀÚÀÇ Æ¯¼ºÀÇ ºñ±³
±¸¸® ¿î¹Ý ³×Æ®¿öÅ© (±¸¸® °ÝÀÚ) ±×°ÍÀº ³Î¸® »ç¿ëµÇ´Â ij¸®¾î ³×Æ®¿öÅ©ÀÔ´Ï´Ù. Àú·ÅÇÑ °¡°Ý ¹× ºñÀÚ ¼º, ´ÜÁ¡Àº ±¸¸®°¡ ³·´Ù´Â °ÍÀÔ´Ï´Ù.
´ÏÄÌ ¿î¹Ý ´ë ³×Æ®¿öÅ© (Nickle °ÝÀÚ) ¾ÈÁ¤µÇ¾î ÀÖ´Â ¼º°ú, ¶ÇÇÑ ¾ÆÁÖ °ÇÕ´Ï´Ù., ´ÜÁ¡Àº ÀÚ¼®, Á¢ÂøÀÌ »ý±æ °ÍÀÔ´Ï´Ù, ÀÚ¼® Á·Áý°Ô´Â °¡µ¿À» À§ÇØ ÃßõµË´Ï´Ù.
°ñµå ij¸®¾î ³×Æ®¿öÅ© (°ñµå ±×¸®µå) ´Ù¸¥ ¹°Áú°ú ¹ÝÀÀÇϱⰡ ¾î·ÆÁö¸¸ ±ÝÀº ºÎµå·´°í º¯ÇüµÇ±â ½±°í Á¤È®ÇÏÁö ¾ÊÀº Å©±â·Î °¡°ÝÀÌ ³ô½À´Ï´Ù.
¸ô¸®ºêµ§ ij¸®¾î ³×Æ®¿öÅ© (¸ô¸®ºêµ§ ±×¸®µå) ´Â ¼öÃà, °í°µµ, ³ôÀº °æµµÀÇ ³·Àº °è¼ö¸¦ °¡Áö°í, ±×°ÍÀº °í¿Â ºñÈ°¼º ȯ°æ¿¡¼ »ç¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù, ·Îµå µÈ »ùÇÃÀº º¯ÇüµÇÁö ¾Ê½À´Ï´Ù.