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¾ÐÀü ¼¼¶ó¹Í½º´Â ±â°èÀû ¿¡³ÊÁö¿Í Àü±â ¿¡³ÊÁö¸¦ ¼·Î º¯È¯ ÇÒ ¼öÀÖ´Â ÀÏÁ¾ÀÇ Á¤º¸ ±â´É¼º ¼¼¶ó¹Í ¼ÒÀçÀÔ´Ï´Ù-¾ÐÀü È¿°ú. ¾ÐÀü ÀÌ¿Ü¿¡ ¾ÐÀü ¼¼¶ó¹Í½º´Â À¯Àüü Ư¼º, ½ÅÃ༺ µîÀ» °¡Áö°í ÀÖÀ¸¸ç ÀÇ·á À̹Ì¡, À½Çâ ¼¾¼, À½Çâ Æ®·£½º µà¼, ÃÊÀ½ÆÄ ¸ðÅÍ¿¡¼ ³Î¸® »ç¿ëµÇ¾ú½À´Ï´Ù. µî. ¾ÐÀü ¼¼¶ó¹Í½º´Â ±×µéÀÇ ¹°ÀÚ¸¦ »ç¿ëÇÏ¿© ±â°èÀûÀÎ ±äÀåÀÇ È°µ¿ÀÇ ¹Ø¿¡ ¹°ÀÚ ¾ÈÂÊ¿¡ ±àÁ¤ÀûÀÌ°í ºÎÁ¤ÀûÀΠåÀÓ ¼¾ÅÍÀÇ °ü°èµÇ´Â ÁøÁöº¯È¯À» ÀÏÀ¸Å°´Â ¿øÀÎÀÌ µÇ±â À§ÇÏ¿© ÇÕ´Ï´Ù, ºÐ±Ø °á°ú·Î, ¹°ÀÚÀÇ ¾çÂÊ ³¡¿¡ ³ªÅ¸³ª´Â °æ°è ¿ä±ÝÀÇ ¹Ý´ë Ç¥½ÃÀÇ °á°ú·Î, Áï ¾ÐÀü È¿°ú. ±×°ÍÀº ¹Î°¨ÇÑ Æ¯¼ºÀÌ ÀÖ½À´Ï´Ù. ¼¼¶ó¹Í½º´Â ÁÖ·Î ÃÊÀ½ÆÄ Æ®·£½º µà¼, ¼ö Áß À½Çâ Æ®·£½º µà¼, electroacoustic Æ®·£½º µà¼, ¼¼¶ó¹Í ÇÊÅÍ, ¼¼¶ó¹Í º¯¾Ð±â, ¼¼¶ó¹Í discriminators, °íÀü¾Ð ¹ßÀü±â, Àû¿Ü¼± °¨Áö±â, Ç¥¸é À½Çâ ÀåÄ¡, Àü±â ±¤ÇÐ ÀåÄ¡ ¹× ÷´Ü ±â¼ú ºÐ¾ß¿¡¼ »ç¿ëµÇ´Â °Í ¿Ü¿¡µµ, ¾ÐÀü ¼¼¶ó¹ÍÀº ÀÏ»ó »ýÈ°¿¡¼ »ç¶÷µéÀ» ºÀ»çÇÏ°í »ç¶÷µéÀ» À§ÇØ ´õ ³ªÀº »îÀ» ¸¸µé±â À§ÇØ ¿½ÉÈ÷ ÀÏÇÏ´Â µ¥ »ç¿ëµË´Ï´Ù.
¾ÐÀü ¼¼¶ó¹Í½º ¹ÝÅä ¼¼¶ó¹Í½º´Â »êȹ° ¼¼¶ó¹Í½ºÀÇ »çÀÌ¿¡¼ ³Î¸® ÀÌ¿ëµÇ´Â, °¡Àå ´ÙÀç´Ù´ÉÇÏ°í, °¡Àå »ý»êÀûÀÎ ¼¼¶ó¹Í ¹°ÀÚÀÔ´Ï´Ù.
Àü¾ÐÀÌ ¾ÐÀü ¼¼¶ó¹Í½º¿¡ Àû¿ëµÉ ¶§, ±×°ÍÀº Àü¾Ð°ú ºóµµ¿¡ ÀÖ´Â º¯È¸¦ °¡Áø ±â°èÀûÀÎ °³¾ÇÀ» »ý¼ºÇÒ °ÍÀÔ´Ï´Ù. ¹Ý¸é¿¡, ¾ÐÀü ¼¼¶ó¹Í Áøµ¿ Àü±â ÃæÀü »ý¼ºµË´Ï´Ù. ÀÌ ¿ø¸®¸¦ »ç¿ëÇÏ¿©, Àü±â ½ÅÈ£°¡ 2°³ÀÇ ¾ÐÀü ¼¼¶ó¹Í½º·Î ±¸¼ºµÈ Áøµ¿±â¿¡ Àû¿ëµÉ ¶§ ¶Ç´Â ¾ÐÀü ¼¼¶ó¹Í ¹× ±Ý¼Ó Àå, ÀÌ·¸°Ô ºÒ¸° bimorph ¼ººÐ, ÃÊÀ½ÆÄ ÆÄ´Â ±¸ºÎ¸®´Â Áøµ¿ ¶§¹®¿¡ ¹æÃâµÉ °ÍÀÔ´Ï´Ù. ¹Ý´ë·Î, ÃÊÀ½ÆÄ Áøµ¿ÀÌ ¾ÐÀü bimorph ¼ººÐ¿¡ Àû¿ëµÉ ¶§, Àü±â ½ÅÈ£´Â »ý¼ºµË´Ï´Ù. À§ÀÇ È¿°ú¸¦ ¹ÙÅÁÀ¸·Î ¾ÐÀü ¼¼¶ó¹Í½º´Â ÃÊÀ½ÆÄ ¼¾¼·Î »ç¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
¾ÐÀü ¼¼¶ó¹Í½º´Â »óÈ£ ±â°èÀûÀÎ ¿¡³ÊÁö ¹× Àü±â ¿¡³ÊÁö¸¦ °³Á¶ÇÏ°í ¹«±â ºñ±Ý¼Ó ¹°ÀÚ¿¡ ¼ÓÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ±â´ÉÀûÀÎ ¼¼¶ó¹Í ¹°ÀÚÀÔ´Ï´Ù. µ¿½Ã¿¡, ±×°ÍÀº ±àÁ¤ÀûÀÌ°í ºÎÁ¤ÀûÀÎ ¾ÐÀü È¿°ú°¡ ÀÖ½À´Ï´Ù. »óÁÖ ÃÊÀ½ÆÄ ÀüÀÚ (ÁÖ) ¿¡ ÀÇÇØ »ý»ê µÈ ¾ÐÀü ¼¼¶ó¹Í ¿þÀÌÆÛ´Â ÁÖ·Î ÃÊÀ½ÆÄ ÇÁ·Îºê, ÃÊÀ½ÆÄ ÀÇ·á, ÃÊÀ½ÆÄ À¯·®°è ¹× ÀÚµ¿ Á¦¾îÀÇ ºÐ¾ß¿¡¼ »ç¿ëµË´Ï´Ù. °ÉÃâÇÑ ¼º°ú ¹× ¿ÏÀüÇÑ ¸í¼¼·Î, PZT ¾ÐÀü ¿þÀÌÆÛ ¹× »õ·Î¿î ÇÕ¼º ¾ÐÀü ¿þÀÌÆÛ´Â ÇÊ¿äÀÇ ´Ù¸¥ À¯ÇüÀ» ¸¸³¯ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
»ç¾ç | Â÷¿ø (Mm) | ¹æ»çÇü ÁÖÆļö (KHz) | Ä¿ÆнÃÅϽº (Pf) | À¯Àüü ¼Ò»ê ÀÎÀÚ Tan¥ä (%) | Àü±â Ä¿Çà ¸µ °è¼ö (Kr) | ÀÓÇÇ´ø½º Zr(Ω) | µÎ²² ÁÖÆļö (KHz) | ±â°è ¿äÀÎÀÎ (Qm) |
OKS-PR-25103 | Φ25 ¡¿ Φ10 ¡¿ 3 | 66.4 | 1240 ¡¾ 12.5% | ≤ 0.3 | ≥ 0.46 | ≤ 15 | 683 ¡¾ 5% | 800 |
OKS-PR-225104 | Φ25 ¡¿ Φ10 ¡¿ 4 | 66.4 | 930 ¡¾ 12.5% | ≤ 0.3 | ≥ 0.46 | ≤ 15 | 512 ¡¾ 5% | 800 |
OKS-PR-40155 | Φ40 ¡¿ Φ12 ¡¿ 5 | 45.9 | 2070 ¡¾ 12.5% | ≤ 0.3 | ≥ 0.46 | ≤ 15 | 410 ¡¾ 5% | 800 |
OKS-PR-40155 | Φ40 ¡¿ Φ15 ¡¿ 5 | 42.2 | 1960 ¡¾ 12.5% | ≤ 0.3 | ≥ 0.46 | ≤ 15 | 323 ¡¾ 5% | 500 |
OKS-PR-40176 | Φ40 ¡¿ Φ17 ¡¿ 6 | 40.5 | 1555 ¡¾ 12.5% | ≤ 0.3 | ≥ 0.46 | ≤ 15 | 341 ¡¾ 5% | 800 |
OKS-PR-40205 | Φ40 ¡¿ Φ20 ¡¿ 5 | 37.9 | 1700 ¡¾ 12.5% | ≤ 0.3 | ≥ 0.47 | ≤ 15 | 410 ¡¾ 5% | 800 |
OKS-PR-50205 | Φ50 ¡¿ Φ20 ¡¿ 5 | 33.2 | 2490 ¡¾ 12.5% | ≤ 0.3 | ≥ 0.46 | ≤ 15 | 341 ¡¾ 5% | 500 |
OKS-PR-50206 | Φ50 ¡¿ Φ20 ¡¿ 6 | 33.2 | 2490 ¡¾ 12.5% | ≤ 0.3 | ≥ 0.46 | ≤ 15 | 341 ¡¾ 5% | 500 |
OKS-PR-502065 | Φ50 ¡¿ Φ20 ¡¿ 6.5 | 33.2 | 2490 ¡¾ 12.5% | ≤ 0.3 | ≥ 0.46 | ≤ 15 | 341 ¡¾ 5% | 500 |
OKS-PR-50175 | Φ50 ¡¿ Φ17 ¡¿ 5 | 34.3 | 2430 ¡¾ 12.5% | ≤ 0.3 | ≥ 0.46 | ≤ 15 | 315 ¡¾ 5% | 800 |
OKS-PR-50176 | Φ50 ¡¿ Φ17 ¡¿ 6 | 34.3 | 2430 ¡¾ 12.5% | ≤ 0.3 | ≥ 0.46 | ≤ 15 | 315 ¡¾ 5% | 800 |
OKS-PR-501765 | Φ50 ¡¿ Φ17 ¡¿ 6.5 | 34.8 | 2430 ¡¾ 12.5% | ≤ 0.3 | ≥ 0.46 | ≤ 15 | 315 ¡¾ 5% | 800 |
OKS-PR-50236 | Φ50 ¡¿ Φ23 ¡¿ 6 | 31.2 | 2340 ¡¾ 12.5% | ≤ 0.3 | ≥ 0.47 | ≤ 15 | 341 ¡¾ 5% | 800 |
OKS-PR-50276 | Φ50 ¡¿ Φ27 ¡¿ 6 | 29.3 | 2100 ¡¾ 12.5% | ≤ 0.3 | ≥ 0.47 | ≤ 15 | 341 ¡¾ 5% | 800 |
OKS-PR-603010 | Φ60 ¡¿ Φ30 ¡¿ 10 | 25.3 | 1922 ¡¾ 12.5% | ≤ 0.3 | ≥ 0.47 | ≤ 15 | 341 ¡¾ 5% | 800 |
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